
8 " أوليمبوس رقاقة نظام التفتيش
● مجموعة واسعة من التطبيقات ، مع مرونة عالية ، 8 بوصة رقاقة أوليمبوس نظام التفتيش العملي والموثوقية العالية .
● 8 " أوليمبوس رقاقة نظام التفتيش لنقل رقائق السيليكون من جميع الأحجام
على أساس حجم رقاقة السيليكون ، هناك ثلاثة أنواع أساسية من al120 سلسلة رقاقة نظام التفتيش ، واحدة 200mm ( al120-l8 ) ، 150mm و 200mm متوافقة ( al120-l86 ) ، واحدة 150mm أو أقل ( al120-l6 ) . كل مصممة لنقل رقائق السيليكون التي تم فحصها من قبل المجهر . macroscopical الأمامي والخلفي macroscopical الفحص يمكن تطبيقها مع رقائق السيليكون من مختلف الأحجام .

● 8 " أوليمبوس رقاقة نظام التفتيش يمكن نقل رقائق السيليكون رقيقة جدا ، وهذا هو ، رقيقة 90um
من أجل التعامل مع أكثر تحديا من رقائق رقيقة جدا ، أوليمبوس رقاقة نظام التفتيش مصممة خصيصا لنقل الأسلحة ، والتي يمكن التعامل مع 25 قطعة من 200 ملم مربع رقاقة رقيقة مثل 90um رقاقة السيليكون ، واستكمال النقل الآمن و الفحص المجهري . ما يصل إلى 10 أنواع من رقاقة السيليكون المعلومات مع سماكة مختلفة يمكن أن تكون محددة مسبقا من خلال الفريق .
● القدرة الدقيقة على تعزيز وظيفة الفحص الكلي
جديد آلة التفتيش العيانية ( LMB ) 360 درجة التناوب التلقائي لإكمال التفتيش العيانية على كل جانب من رقاقة السيليكون . هذا التصميم يمكن أن تجد بسهولة العيوب والجسيمات على كلا الجانبين من رقاقة السيليكون . وبالإضافة إلى ذلك ، يمكن إجراء فحص العيانية باستخدام الروك إمالة رقاقة السيليكون إلى 30 درجة .

● شاشات الكريستال السائل يوفر دقة وسهولة التشغيل
شاشات الكريستال السائل يوفر المشغل مع أكثر بديهية التصور البصري ، مما يجعل من أوليمبوس رقاقة نظام التفتيش التحقق من البنود و تسلسل واضح ، فضلا عن تركيب والتصحيح يحتاج إلى تعيين المعلمات في لمحة . نتائج التفتيش ، بما في ذلك macroscopical و microscopical عيب علامات الإدخال من قبل المشغل ، يمكن عرضها على شاشات الكريستال السائل لتسهيل استعراض من قبل المشغل .

● الدقة والموثوقية
من أجل سلامة رقاقة السيليكون ، رقاقة نظام التفتيش al120 سلسلة تعتمد على اثنين من طرق جديدة للكشف عن رقاقة السيليكون : سمك وموقف في رقاقة مربع . مسح موقع رقاقة السيليكون في خرطوشة قبل الإرسال . التلقائي قفل وظيفة من اختيار المرحلة يعزز أمن رقاقة السيليكون نقل إلى فراغ المرحلة .
● قوية وموثوق بها المجهر
أوليمبوس أشباه الموصلات المجهر ( mx61 ) يمكن أن تظهر الصور عالية الدقة وعالية الدقة من خلال مختلف أساليب المراقبة : الضوء والظلام الميدان ، فرق التدخل ، الأشعة تحت الحمراء والأشعة فوق البنفسجية العميقة . مجهزة الكهربائية عدسة الهدف القرص الدوار ، المجهر المضيف فتحة ضوء هيلز لديه وظيفة الربط ، في كل مرة عدسة الهدف التبديل ، فتحة ضوء هيلز سوف تتغير تلقائيا .
• الامتثال لمعايير سيمي S2 / S8 وبنفايات
إن al120 سلسلة رقاقة نظام التفتيش ليس فقط تولي اهتماما لسلامة رقاقة السيليكون في الإرسال ، ولكن أيضا يضمن سلامة المشغل .
المواصفات الفنية 8 " أوليمبوس رقاقة نظام التفتيش
نموذج |
AL120-LMB12-LP |
AL120-LMB12-F |
رقاقة الحجم |
300 مم ( سيمي M1.15 ر = 775 μ m ) اختياري : 200 مم |
|
عدد البطاقات |
مربع واحد ( تحميل وتفريغ ) |
|
تعيين ارتفاع مربع بطاقة |
900 mm |
|
ميناء التحميل |
هناك . |
لا |
نقل تسلسل |
ماكرو السطح ، السطح الداخلي ماكرو ، المجهر |
|
طريقة الفحص |
فحص جميع العينات |
|
رقاقة المعايرة |
عدم الاتصال مركز الدائري |
|
طريقة نقل رقاقة |
فراغ الامتزاز نقل الميكانيكية |
|
تطبيق المجهر |
أشباه الموصلات المجهر |
|
تطبيق البيئة |
AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz , فراغ - 67 - 80 كيلوباسكال |
|
مرحلة التحميل |
س ص دليل شفط الجدول ، مع س ص الخشنة / غرامة التكيف 360 درجة آلية التناوب |
|
الوزن ( باستثناء المجهر ) |
حوالي 360 كجم |
حوالي 270 كجم |
