نظرة عامة على منصة نشطة العزلة الاهتزاز
STACIS ® الثالث هو مرونة نظام العزلة الاهتزاز نشط . نشط نظام العزلة الاهتزاز منصة تعتمد على الجمود استشعار الاهتزاز ، متقدمة خوارزمية التحكم و المحرك كهرضغطية ، والتي يمكن تصفية الحركة الأرضية من خلال قياس حركة الأرض بشكل مستمر ، ثم توسيع وانكماش المحرك كهرضغطية للقضاء على الاهتزاز في الوقت الحقيقي .
stacis * ، التي صممت أصلا لعزل الدقة microlithography والقياس ومعدات الاختبار المتقدمة في مصانع أشباه الموصلات ، هو الآن معيار الصناعة حل * الأجهزة الحساسة في بيئات صاخبة ، بما في ذلك ولكن لا تقتصر على مصانع أشباه الموصلات ، فشل تحليل المختبرات ، وتكنولوجيا النانو ، ومرافق تصنيع النانو ، ومراكز بحوث المواد .
إن stacis الثالث نشط الاهتزاز العزلة منصة نظام يتكون من وحدة تحكم رقمية جديدة وتحسين dc-2020 . . . . . . . جديد * * * * * * * * * * * * * * نظام مراقبة يستخدم معالج ثنائي النواة الجديدة ، إيثرنت ، الناقل التسلسلي العام منفذ تسلسلي على الأمامي والخلفي لوحات ، ويوفر للمستخدمين مع حديثة وسهلة الاستخدام واجهة المستخدم الرسومية ( GUI ) . stacis ، مع مئات من الانتصابات الناجحة في جميع أنحاء العالم ، هو المثل الأعلى عزل الاهتزاز نظام ينطبق على الاهتزاز * * * * * * * * * * * * * * حساسية الصك .

مزايا أحدث منصة نظام العزلة الاهتزاز
ستاكس هو مئات المرات أصعب من الهواء المعزل ، دون أي قيود على الهواء نظام العزلة . ليس هناك " لينة " تعليق ، على عكس نظام الهواء النشط ، ستاكس يمكن وضعها تحت أداة مع الداخلية نظام عزل الهواء النشط ، مما يجعل كلا النظامين تشغيل * * * * * * * * * * * * * * .
فريدة من نوعها تصميم المسلسل والملكية عالية القوة كهرضغطية التكنولوجيا ، يمكن تحقيق 0.6 هرتز * 150 هرتز * عرض النطاق الترددي واسعة نشطة و 2 هرتز * 90 ٪ من الاهتزاز التخميد نشطة عزل الأداء .
خصائص منصة نشطة نظام العزلة الاهتزاز
▪ ** تحسين dc-2020 وحدة تحكم رقمية جديدة ، وتوفير سهلة الاستخدام واجهة المستخدم الرسومية
▪ عزل الاهتزاز يبدأ في 0.6 هرتز ، تصل إلى 40 ٪ * * * * * * * * * * * * * * 70 ٪ في 1 هرتز .
▪ عندما تردد 2 هرتز أو أعلى ، الرأسي والأفقي عزل الاهتزاز معدلات أكثر من 90%
▪ فائدة نموذج يمكن أن تقلل من متطلبات البنية التحتية وتكاليف البناء ، ويمكن أن تعمل بشكل طبيعي حتى عندما يكون هناك اهتزاز خارجي كبير المعدات .
▪ فعالية عزل الاهتزاز مجموعة من 0.6 إلى 150 هرتز
▪ الحصول على اعتراف واسع النطاق وتأكيد من قبل العديد من المستخدمين
▪ 6 - اتجاه الحرية من الصعب تركيب التصميم ، لا تعليق الهواء
▪ نظام مراقبة قوية لا تحتاج إلى إعادة معايرة بانتظام
▪ نقطة من استخدام تصميم متوافق بسلاسة مع العملاء الحالية نظام عزل الاهتزاز
▪ مع تغير البيئة الخارجية ، ونظام ضبط تلقائيا لاستيعاب مختلف الاهتزازات الخارجية
▪ مركز متابعة التجارة ستاكس ® نشط الاهتزاز التخميد باستخدام تقنية المحرك كهرضغطية
▪ وحدة تحكم رقمية وأجهزة الكمبيوتر القائمة على واجهة المستخدم الرسومية ( GUI )
▪ زيادة الإنتاج ، ونوعية المنتجات النهائية للعملاء .
▪ يتوافق مع معيار بنفايات
▪ ** عرض النطاق الترددي واسعة نشطة عزل الاهتزاز ، وانخفاض وتيرة عزل الاهتزاز تأثير * *
▪ القضاء على الاهتزاز النشط في 0.6-6hz هرتز .
▪ مكدسة تصميم
▪ فائدة نموذج يتميز في ذلك فائدة نموذج يحتوي على مزايا هيكل القيادة من الصعب تركيب هيكل ، لا تعليق لينة ، وانخفاض وتيرة الانجراف .
▪ الربيع السلبي مرشحات تحميل صدى من أجهزة الاستشعار statis يتطلب القليل جدا من ضبط ، حتى * * * * * * * * * * * * * * لا تحتاج إلى ضبط
▪ بسبب عدم تطابق المعاوقة الداخلية المعزل
▪ تحميل تصل إلى 2000kg
▪ نشط نظام عزل الاهتزاز في السوق
العزلة الاهتزاز منصة الأداء النشط

4500 رطل ( 2045 كجم ) الحمولة تم اختبارها باستخدام محاكاة الاهتزاز من vc-c ( 500 ميكرو بوصة / ثانية ، 12.5 ميكرومتر / ثانية رمس ) .
مواصفات منصة نشطة العزلة الاهتزاز
مواصفات الأداء
درجة من الحرية النشطة | 6 |
عرض النطاق الترددي النشطة | 0.6 Hz - 150 Hz |
التردد الطبيعي السلبي | 18 هرتز الرأسي والأفقي |
نشط تردد الرنين | 0.5 Hz |
العزلة الاهتزاز في 1 هرتز | 40-70% |
العزلة الاهتزاز عند أو فوق 2 هرتز | أكثر من 90 ٪ |
10 رطل ( 4.5 كجم ) خطوة المدخلات بعد استقرار الوقت ( تخفيض 10 : 1 ) | ثانية |
الضوضاء الداخلية | <0.1 nm RMSd> |
نطاق عمل كل المعزل | انخفاض الحمولة : 400-1100 جنيه ( 181-499 كجم ) |
متوسط الحمولة : 900-2100 جنيه ( 408-953 كجم ) | |
قدرة تحمل عالية : 1900 - 4500 جنيه ( 862 - 2041 كجم ) | |
صلابة ( 1000 رطل / 454 كجم الشامل ، متوسطة الحمولة المعزل ) | 40 , 000 رطل / بوصة ( 73 × 105 بقرة / متر ) |
المجال المغناطيسي المنبعث من 4 بوصة ( 102 ملم ) من الاهتزاز المعزل | <0.02 μG broadband RMSd> |
متطلبات التصميم ، الأبعاد ، والبيئة ، وفائدة من المعزل
البيئة والأمن | الامتثال لمعايير م وبنفايات |
نشط عنصر العزلة الاهتزاز | * * * * * * * * * * * * * * المحرك كهرضغطية مع قدرة تحمل صغيرة 3300 رطل ( 1500 كجم ) يتلقى إشارات من مكبر للصوت عالية الجهد التي تنتج ما يصل إلى 800 فولت . حمولة المحرك الرأسي دعم عزل الاهتزاز |
العزلة الاهتزاز السلبي عنصر | واحد من الصعب الخواص الاستومر ( بدون مصدر الهواء المضغوط ) |
الاهتزاز الاستشعار عنصر | فائدة نموذج يتعلق الهبوط Geophone نوع استشعار بالقصور الذاتي ، والذي يستخدم لقياس الاهتزازات الأرضية تحت الاهتزاز المعزل ، ويوفر الجهد تتناسب مع سرعة الحركة من الاهتزاز . |
حلقة التحكم النشط | قياس ومعالجة وتخفيف الاهتزازات الأرضية تحت الينابيع التي تدعم عزل الاهتزاز السطوح |
حجم المعزل ( العرض × العمق × الارتفاع ) | 11.75 × 12.5 × 10.8 بوصة 300 × 320 × 275 مم |
الاهتزاز المعزل الوزن | 75 جنيه ( 34 كجم ) |
درجة حرارة التشغيل | و 10 ° - 32 ° C |
درجة حرارة التخزين | - 40 درجة - 130 درجة و - 40 درجة - 55 درجة مئوية |
الرطوبة | 30-60% |
متطلبات نظام الطاقة | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W تلبية معايير م |
الأرض التشرد | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
عدد المعزل في النظام | ثلاثة أقل |
ملحق اختياري | مغلفة الفولاذ المقاوم للصدأ منصة ، والإطار ، الناهض ، الاستواء الجهاز ، جهاز مقاومة للزلازل ، رفع الغطاء |
dc-2020 مواصفات تحكم
البعد ( العرض × العمق × الارتفاع ) | 19 × 8.5 × 1.75 بوصة 483 x 216 x 45 mm |
وزن . | 6.3 رطل ( 2.9 كجم ) |
المعالج | 150 / 75 ميغاهيرتز ثنائي النواة |
معدل أخذ العينات | 10 kHz |
التناظرية الناتج | قناة |
التناظرية المدخلات | قناة |
مركز مصباح | أدى واحد |
اللوحة الأمامية ميناء | مسلسل الناقل التسلسلي العام مسلسل مايكرو USB إيثرنت RJ-45 ملاحة |
اللوحة الخلفية ميناء | مسلسل الناقل التسلسلي العام إيثرنت RJ-45 واحد RS-232 db-9 المسلسل التقليدية المستخدمة في التقليدية StatIS 2100 المعزل |
واجهة المستخدم | أمام لوحة عرض الكريستال السائل قائمة الأحرف على محطة سوبر تمديد واجهة المستخدم الرسومية مايكروسوفت ويندوز جزءا لا يتجزأ من واجهة المستخدم الرسومية إيثرنت |
stacis المستخدمين والتطبيقات
الدقيقة ، أشباه الموصلات
▪ رقاقة الكشف
▪ تقنية الطباعة الحجرية المجهرية
▪ قناع المعايرة
2 - البحث العلمي وتكنولوجيا النانو
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
الليزر الجدول
▪ علوم الحياة ، وتطوير الأدوية
4 - التطبيقات الصناعية
▪ الآلات الدقيقة
لماذا اختيار نشط نظام العزلة الاهتزاز ؟
▪ منصة تعمل بالهواء المضغوط لا يمكن عزل الاهتزاز بفعالية في هذا التردد المنخفض .
▪ تحسين الجودة والإنتاجية
▪ أصغر ميزة التصوير
▪ حدود البحث
▪ أكثر استقرارا من منصة تعمل بالهواء المضغوط
▪ * * * * * * * * * * * * * * الحل الذي يلبي معايير SEM تركيب الموقع
▪ انخفاض تكلفة المشروع الجديد مختبر معدات البحث
لماذا اختيار نظام العزلة الاهتزاز النشط ستاكس
▪ الحق في قلب الباحث ، وتوفير بيئة خالية من الزلازل ممكن .
▪ * * * * * * * * * * * * * * قوية منخفضة التردد الاهتزاز العزلة في السوق .
▪ في الوقت الحاضر ، جميع الشركات المصنعة SEM قد أعلنت عن متطلبات تركيب المعلمات ، والتي تحتاج إلى عزل الاهتزاز نشط نظام لتلبية الاحتياجات .
▪ stacis * اخترع في 1990s ، بعد مزيد من التطوير من مركز متابعة التجارة ، وقد وضعت الآلاف من أحدث أنظمة عزل الاهتزاز ، والتي هي حلول موثوق بها في مجال التحكم النشط العزلة الاهتزاز .
ستاكس هو مئات المرات أكثر صلابة من هوائي المعزل .
استقرار الوقت هو تقصير إلى حد كبير بسبب سلسلة فريدة من نوعها تصميم ، والتي يمكن استخدامها على نطاق واسع في تصنيع الآلات ، تحميل الديناميكي ، ليزر أو مصدر الضوء .
المزايا التالية هي * * * * * * * * * * * * * * في هذه الصناعة
▪ نشط عزل الاهتزاز عرض النطاق الترددي من 0.6hz-150hz ستاكس
▪ نشط الاهتزاز مع 6 درجات من الحرية هو القضاء على الاهتزاز العزلة 8-10db في 1 هرتز .
▪ من 2 إلى 3 هرتز ، عزل الاهتزاز يمكن أن تصل إلى 90 ٪ ( 20dB ) .
المسح البيئي المهني
1 ، قبل وبعد تركيب المسح البيئي ، بما في ذلك الاهتزاز ، المجال المغناطيسي ، الموجات الصوتية
2 ، يمكن أن توفر نظام البيئة شهادة بعد التثبيت
▪ الكمال خدمة المسح البيئي
▪ تقرير البيئة المهنية
▪ يوفر الاهتزاز ، المجال المغناطيسي ، موجة الصوت الكشف عن الحل
▪ مركز متابعة التجارة توصي حلول عملية للمستخدمين على أساس خبرتها الواسعة
▪ أكثر من 40 عاما من الخبرة في صناعة * * *
تطبيق الصور





