لمحة عامة
مصانع تصنيع أشباه الموصلات ، ومراكز تكنولوجيا النانو ، ومصانع النانو وغيرها من مراكز التصنيع والبحوث الدقيقة عادة الجمع بين غرف الأبحاث مع أنظمة أرضية مزيفة منقولة لتلبية متطلبات المرافق المعقدة ( الأنابيب والكابلات وخطوط أنابيب الغاز ، وما إلى ذلك ) والحفاظ على معايير النظافة الصارمة . هذه الأرض ليست مناسبة لإنتاج واختبار وقياس المعدات التي هي حساسة الاهتزاز . الأرض تتحرك لا يمكن أن توفر بيئة هادئة الاهتزاز اللازمة لهذه الأدوات . مركز متابعة التجارة في جزيرة كويت يوفر حلا مبتكرا عن طريق استبدال جزء من الأرض النشطة مع " جزيرة هادئة " ثابتة على الأرض أدناه . جزيرة كويت يتكون من غرفة نظيفة متوافقة مع أعلى المنصة و تطبيق معين في الموقع هيكل الدعم .

تبديد الاهتزاز
عناصر الدعم الرئيسية والتكنولوجيات الأساسية من جزيرة كويت * * * * * * * * * * * * * * يتم دمجها في stacis الثالث نشط الاهتزاز قمع النظام . هذا " جامدة " القصور الذاتي الاهتزاز قمع نظام الدعم هو الخيار المثالي لأي اهتزاز أداة حساسة ، والتي تمكن هذه الأدوات تعمل في بيئة صاخبة مع * * * * * * * * * * * * * * معايير عالية . stacis الثالث متوافق مع رقاقة التلقائي أدوات الآلات ، وارتفاع القرار شعاع الالكترون أدوات التصوير ، شعاع ايون أدوات الطحن ، أي أداة مع سلبية أو نشطة نظام العزلة الداخلية ( انظر لدينا ورقة بيضاء عن التراص نشط المعزل على أحدث المعزل ) . وبالإضافة إلى ذلك ، فإنه يوفر أيضا * * * * * * * * * * * * * * عزل الاهتزاز واسعة النطاق الترددي . و " من الصعب تركيب " تصميم من الصعب جدا ، حتى أعلى ، أثقل وأخف وزنا من الأدوات ، لا مشكلة في الاستقرار .
الناهض و قوس
الناهضون قوية للغاية لدعم ستاكس المعزل صممت من قبل فريق من ذوي الخبرة الهندسية TMC ، وتصنيعها من قبل المصنع ايزو 9001 وفقا لمعايير عالية ومواصفات شهادة لحام . كل جزيرة كويت مصممة بعناية لتناسب جميع أنواع ارتفاع الأرض المنقولة ، الطابق السفلي الهندسة أداة الأحجام . مركز متابعة التجارة تركيب الآلاف من الأجهزة في جميع أنحاء العالم لدعم أكثر من 200 أنواع مختلفة من الأجهزة ، مع ثروة من المعرفة والخبرة ، يمكن أن تلبي احتياجات stacis والمرافق الخاصة بك تصميم هيكل الدعم .
منصة جامدة
منصة تتكون من 4 بوصة ( 100 ملم ) سميكة لوحة ساندويتش مصممة ومصنوعة من قبل مركز متابعة التجارة ، حيث يتم قص لوحة حول خفيفة الوزن ، غير قابل ، التخميد المواد الأساسية . جامدة لوحة الصلب الأساسية المستعبدين إلى سلس الفولاذ المقاوم للصدأ لوحة من راتنجات الايبوكسي يوفر صلابة عالية التخميد الهيكلي . قسم كبير و محتوى الصلب تنتج صلابة عالية جدا . أعلى والجانبين هي استمرار حالة الفولاذ المقاوم للصدأ متكاملة للحفاظ على النظافة والجمال والنزاهة . مركز متابعة التجارة يمكن تصميم وتصنيع منصات مصممة خصيصا للتطبيقات حسب الحاجة ، بما في ذلك قطع ، والأشكال الخاصة ، وتحديد الثقوب ، والترباس الدائري .
Quiet Islands vs. Quiet Buildings
Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]
Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]
It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]
The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).
TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.
See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.
1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source
2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source
مزايا جزيرة كويت
باستخدام أحدث تكنولوجيا التحكم في الاهتزاز كهرضغطية stacis-tmc * * * * * * * * * * * * * * ، من الصعب تركيب تصميم و 0.6 هرتز العزلة الاهتزاز متوافق مع المدمج في أدوات الاهتزاز المعزل .
المرونة في البنيوية ، والتخصيص ، وإعادة توجيه كل منصة مصممة خصيصا لتطبيقات العملاء ، ولكن على عكس منصات ملموسة ، يمكن بسهولة إعادة تكوينها إذا كانت أدوات أو خصائص الأرض تتغير .
المعرفة المهنية - مركز متابعة التجارة لديها خبرة واسعة في التعاون مع * * * * * * * * * * * * * * تصنيع أشباه الموصلات ، ومعاهد البحوث فائقة الدقة تصنيع المعدات الأصلية . ونحن نفهم العملاء واحتياجاتهم . نحن نملك تصميم وتصنيع .
الأداء

على 24 بوصة عالية ، 40 بوصة × 60 بوصة جزيرة كويت ، 4 مقاعد stacis قوس ،
قياس معدل انتقال العدوى من الأرض مع جيم المدخلات
مواصفة
مواصفات الأداء
درجة من الحرية النشطة | 6 |
عرض النطاق الترددي النشطة | 0.6 Hz - 150 Hz |
التردد الطبيعي السلبي | 18 هرتز الرأسي والأفقي |
نشط تردد الرنين | 0.5 Hz |
العزلة الاهتزاز في 1 هرتز | 40-70% |
العزلة الاهتزاز عند أو فوق 2 هرتز | أكثر من 90 ٪ |
10 رطل ( 4.5 كجم ) خطوة المدخلات بعد استقرار الوقت ( تخفيض 10 : 1 ) | ثانية |
الضوضاء الداخلية | <0.1 nm RMSd> |
نطاق عمل كل المعزل | انخفاض الحمولة : 400-1100 جنيه ( 181-499 كجم ) متوسط الحمولة : 900-2100 جنيه ( 408-953 كجم ) قدرة تحمل عالية : 1900 - 4500 جنيه ( 862 - 2041 كجم ) |
صلابة ( 1000 رطل / 454 كيلوغراما من الوزن ، متوسطة القدرة على تحمل الاهتزاز المعزل ) | 40 , 000 رطل / بوصة ( 73 × 105ماشية / متر ( |
المجال المغناطيسي المنبعث من 4 بوصة ( 102 ملم ) من الاهتزاز المعزل | <0.02 μG broadband RMSd> |
متطلبات التصميم ، الأبعاد ، والبيئة ، وفائدة من المعزل
البيئة والأمن | الامتثال لمعايير م وبنفايات |
نشط عنصر العزلة الاهتزاز | * * * * * * * * * * * * * * المحرك كهرضغطية مع قدرة تحمل صغيرة 3300 رطل ( 1500 كجم ) يتلقى إشارات من مكبر للصوت عالية الجهد التي تنتج ما يصل إلى 800 فولت . حمولة المحرك الرأسي دعم عزل الاهتزاز |
العزلة الاهتزاز السلبي عنصر | واحد من الصعب الخواص الاستومر ( بدون مصدر الهواء المضغوط ) |
الاهتزاز الاستشعار عنصر | فائدة نموذج يتعلق الهبوط Geophone نوع استشعار بالقصور الذاتي ، والذي يستخدم لقياس الاهتزازات الأرضية تحت الاهتزاز المعزل ، ويوفر الجهد تتناسب مع سرعة الحركة من الاهتزاز . |
حلقة التحكم النشط | قياس ومعالجة وتخفيف الاهتزازات الأرضية تحت الينابيع التي تدعم عزل الاهتزاز السطوح |
حجم المعزل ( العرض × العمق × الارتفاع ) | 11.75 × 12.5 × 10.8 بوصة 300 × 320 × 275 مم |
الاهتزاز المعزل الوزن | 75 جنيه ( 34 كجم ) |
درجة حرارة التشغيل | و 10 ° - 32 ° C |
درجة حرارة التخزين | - 40 درجة - 130 درجة و - 40 درجة - 55 درجة مئوية |
الرطوبة | 30-60% |
متطلبات نظام الطاقة | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W تلبية معايير م |
الأرض التشرد | <480μin. (12μm) below 10Hzd> |
عدد المعزل في النظام | على الأقل ثلاثة |
ملحق اختياري | مغلفة الفولاذ المقاوم للصدأ منصة ، والإطار ، الناهض ، الاستواء الجهاز ، جهاز مقاومة للزلازل ، رفع الغطاء |
dc-2020 مواصفات تحكم
البعد ( العرض × العمق × الارتفاع ) | 19 × 8.5 × 1.75 بوصة 483 x 216 x 45 mm |
وزن . | 6.3 رطل ( 2.9 كجم ) |
المعالج | 150 / 75 ميغاهيرتز ثنائي النواة |
معدل أخذ العينات | 10 kHz |
التناظرية الناتج | قناة |
التناظرية المدخلات | قناة |
مركز مصباح | أدى واحد |
اللوحة الأمامية ميناء | مسلسل الناقل التسلسلي العام مسلسل مايكرو USB إيثرنت RJ-45 ملاحة |
اللوحة الخلفية ميناء | مسلسل الناقل التسلسلي العام إيثرنت RJ-45 واحد RS-232 db-9 المسلسل التقليدية المستخدمة في التقليدية StatIS 2100 المعزل |
واجهة المستخدم | أمام لوحة عرض الكريستال السائل قائمة الأحرف على محطة سوبر تمديد واجهة المستخدم الرسومية مايكروسوفت ويندوز جزءا لا يتجزأ من واجهة المستخدم الرسومية إيثرنت |
معايير أخرى
سطح منصة | الفولاذ المقاوم للصدأ السطح العلوي والجانب ؛ الايبوكسي المغلفة الصلب أسفل |
هيكل منصة | متعدد الطبقات ورقة مغلفة الملكية |
حجم | تخصيص |
ارتفاع قياسي | 15 , 18 , 20 , 24 , 30 , 36 , 48 بوصة 38 , 46 , 51 , 61 , 76 , 91 , 122 سم يمكن أن توفر أيضا ارتفاع مخصص |
قدرة التحميل | تخصيص |
جامدة الناهض قوس | شهادة لحام وجميع هياكل الصلب ، مسحوق طلاء السطح متوافق مع غرفة نظيفة |
ملحق اختياري | الحد من الدعم ، أعلى منصة رفع حلقة الترباس ، جسر لوحة شعرية الطابق الأرضي |
أعلى نسخة من منصة | الشق ، من خلال ثقب ، ثقب المسمار لتحديد أداة |
أخرى .جزيرة كويت التكوين
الأجهزة الكبيرة التي لا تملك مواصفات الاهتزاز البيئية عادة ما تتطلب جامدة ومستقرة قوس وبصرف النظر عن الأرض المنقولة . جامدة جزيرة كويت هو الحل المثالي . جامدة جزيرة كويت لديها نفس منصة عالية الأداء في الأعلى ، ويمكن أيضا أن تكون مصممة خصيصا لأي ارتفاع ، أي الطابق السفلي الهندسة المنقولة الطابق غرفة نظيفة ، ومجموعة متنوعة من الأدوات والأحجام . مركز متابعة التجارة يوفر مجموعة متنوعة من أنواع مختلفة من الأعمدة لتلبية الاحتياجات المختلفة ، وبالتالي تشكيل وحدات محددة من الأجهزة والمصانع ، والمرونة في نقل وتحديث الحلول .


تطبيق الصور





بسبب التثبيت في جزيرة كويت ® التعقيد والحساسية والقيمة من الأجهزة على منصات أرضية منخفضة ، ونحن لا إنشاء دليل قياسي من أجللا
ونحن نعتقد أن كل منصة ينبغي أن تكون مصممة خصيصا لتطبيقات محددة . وفيما يلي الخطوات المقترحة للطلب :
▪ تخبرنا عن المعدات أو الأدوات التي تريد عزل . لأن لدينا الآلاف من الأجهزة المثبتة ، ونحن قد يكون بالفعل تصميم منصة التي تلبي متطلبات التطبيق الخاص بك . وبالإضافة إلى ذلك ، ونحن على اتصال وثيق مع السائر ، المحاذاة ، ووزارة شؤون المرأة وغيرها من الشركات المصنعة للأدوات ، لذلك نحن نفهم * * * * * * * * * * * * * * حجم جديد ، والشكل ، تغيير الوزن و اهتزاز الأرض المواصفات .
▪ بدلا من ذلك ، قد تحتاج إلى منصة مناسبة لأنّ أرضية نشطة نظام الشبكة . العملاء عادة ما تختار 47 × 47 بوصة ( 1 ، 190 × 1 ، 190 ملم ) منصة لاستبدال حتى البلاط .
▪ تخبرنا عن ارتفاع النشاط الخاص بك الأرض فوق الأرض الصلبة .
▪ يرجى وصف أو تقديم لنا مع التوضيح الذي يظهر أي نمط من الثقوب في الطابق السفلي الخاص بك أو الصلب الشعاع / تعريشة الهندسة .
▪ يرجى تزويدنا ببيانات عن الاهتزازات الأرضية أو مناقشة كيفية ترتيب قياسات لهذه البيانات .
▪ النظر في حساسية الاهتزاز من الصك . لدينا جامدة ، غير رنان دعامات مصممة لتوفير الدعم الكافي للعديد من الأدوات . التطبيقات الأكثر حساسية سوف تتطلب الهواء أو دعم كهرضغطية